基于硅基环氧树脂封装的氧化物宽禁带半导体紫外探测器件技术
项目概况
- 氧化物宽禁带半导体材料（氧化锌、氧化镓等）具有有以独 特的材料特性，并且原料相对丰富廉价，被认为是制备紫外探测器 的理想材料之一，在火灾监测、导弹预警、医疗卫生、环境监测等 领域都有非常重要的应用。对于实际应用来说，低功耗和便携是对 探测器件的两个非常重要的需求，在低电压下获得高的光响应度不 仅可降低器件的能耗，更可摆脱对放大电路的依赖，实现无放大电 路应用。 为了在低电压下获得高的光响应度，我们在制备 高性能氧化物紫外探测器方面取得了一系列成果，如利用界面缺陷 实现了首个高性能混相 ZnMgO 日盲紫外探测器，器件性能优于同类 单相器件；设计并实现了平面非对称叉指电极，实现了新型自供能 ZnO 紫外探测器；率先实现了基于高阶等离子体共振的 Ag 等离子 体增强型紫外探测器，器件具有高度的波长选择性；通过表面改性 大幅提高了氧化物半导体紫外探测器的响应速度等。在上述研究工 作的基础上，我们用硅基环氧树脂封装了一系列氧化物宽禁带半导 体紫外探测器件，典型的日盲紫外探测器的峰值响应度在 10V 偏压 下可达 50A/W 以上，漏电流在 pA 量级，在国防和民用领域都具有 广阔的应用前景！
团队介绍
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