光学元件无应力支撑与精密位姿调节技术
项目概况
- 名称：光学元件无应力支撑与精密位姿调节技术简介：该技术主要用于光刻物镜镜头、基因测序仪镜头等高精度光学元件成像领域研究情况：获得国家科技重大专项和国家自然科学基金的支持，样 机达到设计指标，发表高水平论文多篇，授权国内发明专利多项。应用领域：光刻物镜镜头、基因测序仪镜头等高精度光学元件成像领域产业前景：本技术可以减小光学系统成像误差，提高光机系统的成像质量
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