基于 MIM 纳米结构高激发效率电致 SPP 源器件制作工艺
项目概况
- 研究背景：SPP 具有亚波长传播、操纵光和局域近场增强等方面特 性，是微纳尺度下进行光子操纵和集成的优良载体。因而其在集成 光路和生化传感领域中有重要应用价值；SPP 源是其中的核心器件。 本项目研究了基于 MIM 纳米结构高激发效率电致 SPP 源器件的物理 机理和制作工艺。意向转移转化的代表性成果：1.在波导设计方面； 2.在 SPP 源制备方面。申请国家发明专利 6 项，其中授权 2 项，授 权实用新型专利 4 项。
团队介绍
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