电容式 RF MEMS 开关
项目概况
- 成果名称：RFMEMS开关。简介：针对目前电容式RFMEMS开关 “自执行”、“自锁”、“粘附”失效现象，通过研究开关各种扰动、粗糙面接触、电荷迁移等影响开关可靠性的各种因素，评估 开关失效的各种内在关系，揭示开关失效机理；提出一种双极多脉冲驱动、分离式大功率高可靠电容耦合式RFMEMS开关模型，并 进行可靠性分析、寿命预测和优化。从而为满足高传输功率（传输 功率>3W）、高可靠（开关寿命>1亿次）、低驱动电压（驱动电 压<40V）、快速响应（响应时间<40μs）、低损耗（插入损耗 <-0.2dB）、高隔离度（隔离度>-35dB）综合指标的RFMEMS开关 设计提供理论基础。应用领域：射频微机电系统（RFMEMS）器 件，是相控阵天线中T/R组件的主要元件，为SOC（片上系统）、SIP（系统级芯片）的重要组成部分，是“核高基（核心芯片、高 端通讯和基础软件）”的关键部件。RFMEMS开关，是基于MEMS技术制作的一种新型微开关，利用驱动电压，控制开关机械部件的运 动，从而实现开关的快速“通”、“断”功能[1]。由于RFMEMS 开关具有超低损耗、高隔离度、成本低等优势，被广泛应用于无源和有源相控阵列雷达、T/R组件、可重构微波子系统、防碰撞车载 雷达，以及移相器、谐振器、滤波器、微型可重构天线、可变电 感、电容等RF微波领域。产业前景：相控阵天线系统、移相器、滤波器、可变电容器、可变电感器、谐振器、可变传输线、重构天线
团队介绍
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