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微纳尺度光电探测系统
项目详情
项目概况
微纳尺度光电探测系统。实现100纳米-100微米空间分辨力的光 电磁,温度场的探测,其中磁场灵敏度10pT/sqrt(Hz),温度灵敏 度10mK/sqrt(Hz)。应用于电子芯片等微纳结构的光电磁探测。
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