自转流体动压超光滑加工装置
项目概况
- 传统以脆性和塑性域的材料去除模式难以避免表面/亚表面加工损 伤、加工变质层以及残余应力层等问题，根本满足不了现代光学技 术发展对超光滑表面的加工要求。流体动压超光滑加工借助纳米颗 粒与光学元件表面的弹性域化学界面吸附反应实现光学元件表层 的原子级材料无损伤去除。研究结果表明流体动压可以明显去除表 面损伤的同时降低表面粗糙度至亚纳米水平。 流体动压作用超光 滑表面加工方法是利用纳米抛光颗粒与光学元件表面在流体动压 作用下的界面化学吸附反应作用实现弹性域内光学元件表层的原 子级材料去除。弹性变形是一个可逆的恢复过程，因此如果将材料 意向转移转 去除作用力控制在弹性域变形范围内，加工完成后就可基本保证基 化的成果名 体材料的原子排列不发生改变，从理论上说是不会对加工表面造成 称及简介，包损伤破坏。然而，弹性变形无法达到材料屈服强度，仅仅依靠机械 括研究情况、刻划作用是不可能实现材料的有效去除，引入有效的表面化学反应 应用领域、产实现表面键能弱化，使用较小的机械力作用实现材料去除，同时保 业前景等 证对基体的扰动限制在弹性扰动范围内。深亚纳米表面加工技术已 经达到原子级表面加工水平基本接近物理加工的极限，这对加工装 备和加工工艺都提出了极大的挑战。 在保证提升表面质量的同时 必须具有良好的加工效率，本项目的研究目标是针对极紫外光刻系 统原子级超光滑表面光刻物镜、强激光系统等对零损伤超光滑光学 元件表面的需求，对现阶段流体动压超光表面加工的存在的问题进 行研究，通过对加工装置和加工前期已经对流体动压超光滑的弹性域材料去除机理开展了深入了
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