基于双衍射光栅外差干涉的高精度滚转角测量方法及技术
项目概况
- 基于双衍射光栅外差干涉的高精度滚转角测量方法及技术，已经发 表 SCI 论文 4 篇，拥有国家发明专利授权 1 项，荣获学术研讨论会 最佳海报奖 1 次。基于该方法研制出了测试系统样机，实现精密导 轨的高分辨、实时的滚转角测量，为其误差补偿与校核提供了技术 手段。它不仅可直接应用于解决现有数控机床/加工中心等数控设 备的滚转角（尤其是 Z 轴运动）的滚转角测量与补偿的技术瓶颈问 题，而且该方法及技术可以广泛用于改进现有激光干涉仪（系统 ） 的测量性能，扩展其测量功能即支持滚转角测量，实现对导轨运动 副 6 自由度误差测量功能的全面覆盖，因此，其对现有商用激光干 涉仪系统具有较好的应用前景。
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